傳統(tǒng)潔凈度檢測的三大「致命痛點」

在半導(dǎo)體 / 精密制造中，5μm 以上大顆粒污染可直接導(dǎo)致芯片短路、產(chǎn)品良率下降。傳統(tǒng)「吸入式采樣 + 顯微鏡檢視」模式存在致命缺陷：

1、大顆?！嘎z」危機：5μm 以上粒子因重力作用難以被有效吸入，實驗室數(shù)據(jù)與實際污染狀況偏差超 50%；

2、二次污染「蝴蝶效應(yīng)」：樣本搬運及顯微鏡觀察過程中，粒子易脫落或混入新污染物，誤差率高達 30%。

3、工具「錯位」困局：光學(xué)粒子計數(shù)器對表面附著粒子的檢出效率不足懸浮粒子的 1/10，無法應(yīng)對機臺、墻面等關(guān)鍵場景。

PartSens4.0 大顆粒檢測儀「三大革新」

1.VDA 認(rèn)證的「視斜光檢測系統(tǒng)」

作為唯一被歐洲質(zhì)量規(guī)格VDA19.2「組裝過程的潔凈技術(shù)」收錄的設(shè)備，采用 ISO14644-9 視斜光系統(tǒng)，數(shù)秒內(nèi)生成粒子立體外型、大小、數(shù)量全維度數(shù)據(jù)?？删珳?zhǔn)區(qū)分非金屬性粒子（<5μm~>3000μm）、金屬性粒子（<25μm~>3000μm）及纖維（<50μm~>3000μm）。

2. 「取樣即判讀」的全場景移動檢測

摒棄「取樣 - 搬運 - 判讀」的冗長流程，內(nèi)置雙鋰電池和無線傳輸，支持無塵室前廳、工作桌、機臺內(nèi)外等全場景移動取樣。搭配專用 TapeLift Pad 取樣墊片，對凹凸表面粒子有效移轉(zhuǎn)率高達 99%。

3.數(shù)據(jù)化管理「三維透視」污染源

多維度粒子分析：實時顯示粒子大小、種類、數(shù)量分布。

可視化操作界面：觸控屏搭配顏色分類顯示，粒子性質(zhì)與分布狀況一目了然，數(shù)秒內(nèi)即可完成單次檢測。

三步構(gòu)建「診斷 - 優(yōu)化 - 監(jiān)控」閉環(huán)

流程診斷：用 PartSens 評估現(xiàn)有清潔流程，通過調(diào)整工具、方法、頻率等因子，確定最佳方案。

標(biāo)準(zhǔn)固化：將流程標(biāo)準(zhǔn)化，配合人員培訓(xùn)，確保清潔效果一致性。

動態(tài)監(jiān)控：按「目標(biāo)清潔度」（風(fēng)險粒子數(shù) /cm2）實時監(jiān)測，動態(tài)調(diào)整防控策略。

應(yīng)用場景