芯片是所有電子工業(yè)的基礎(chǔ)，對(duì)人類(lèi)社會(huì)影響極其巨大，隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷發(fā)展，芯片線(xiàn)寬尺寸不斷縮小，制程更復(fù)雜、更繁瑣，很多關(guān)鍵工藝（如光刻工藝）需要在特定的潔凈環(huán)境下進(jìn)行。除了控制常規(guī)的懸浮顆粒污染物的濃度，還需對(duì)潔凈室內(nèi)直徑更小的氣態(tài)分子污染物（AMC）濃度進(jìn)行嚴(yán)格控制。

為了控制AMC，生產(chǎn)芯片的潔凈廠房一般會(huì)在新風(fēng)處理機(jī)組（MAU）和風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元（FFU）上安裝化學(xué)過(guò)濾器，對(duì)潔凈廠房?jī)?nèi)特定區(qū)域進(jìn)行相關(guān)空氣治理。

1.新風(fēng)處理機(jī)組（MAU）安裝化學(xué)過(guò)濾器

潔凈室的空氣過(guò)濾系統(tǒng)有一個(gè)新風(fēng)空氣處理機(jī)組，是初級(jí)空氣處理裝置，用來(lái)提供過(guò)濾的室外空氣。進(jìn)入MAU的外部空氣是由外部來(lái)源(如包含潔凈室建筑物外的空氣)提供的，外部空氣通常通過(guò)一個(gè)重要的預(yù)過(guò)濾系統(tǒng)，然后空氣通過(guò)加熱、通風(fēng)和空調(diào)（HVAC）設(shè)備進(jìn)行調(diào)節(jié)。

新風(fēng)處理機(jī)組是最直接和有效安裝化學(xué)過(guò)濾器的位置，以便控制來(lái)自?xún)艋O(shè)施外的污染物，MAU裝置中的過(guò)濾系統(tǒng)不會(huì)影響設(shè)施內(nèi)的污染源，由于外部環(huán)境空氣僅通過(guò)這些過(guò)濾器一次，因此需要高AMC過(guò)濾效率，化學(xué)過(guò)濾器能有效去除室外空氣中的有毒有害氣體，從而保證進(jìn)入室內(nèi)的空氣達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)。

2.風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元（FFU）安裝化學(xué)過(guò)濾器

在微電子行業(yè)，由于對(duì)AMC的控制越來(lái)越嚴(yán)格，僅在空調(diào)箱中對(duì) AMC控制很難達(dá)到要求。在FFU中安裝化學(xué)過(guò)濾器是一種創(chuàng)造局部超潔凈環(huán)境的方法，事實(shí)證明當(dāng)化學(xué)過(guò)濾器與FFU一起使用時(shí)，它們特別有效。FFU一般用于過(guò)濾潔凈室內(nèi)循環(huán)空氣中的氣體污染物。

FFU化學(xué)過(guò)濾器一般安裝在FFU中HEPA/ULPA上游位置，用于有效去除AMC。根據(jù)潔凈室工作區(qū)存在的各種有害氣體，用于FFU的每個(gè)化學(xué)過(guò)濾器可以定制使用不同類(lèi)型的濾料去除其相關(guān)有害氣體。

常用的化學(xué)過(guò)濾器

①平板型化學(xué)過(guò)濾器 

②W型化學(xué)過(guò)濾器

③箱式化學(xué)過(guò)濾器

④圓筒化學(xué)過(guò)濾模塊

⑤V型化學(xué)過(guò)濾模塊

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 安裝方便，操作簡(jiǎn)單；

? 高效過(guò)率，比傳統(tǒng)活性炭更廣譜針對(duì)性去除氣態(tài)分子污染物；

? 低阻力，無(wú)遞增壓損，節(jié)能環(huán)保；

? 無(wú)灰塵釋放，具有一定的粉塵過(guò)濾效果；

? 改善并提高室內(nèi)空氣品質(zhì)；

? 使用壽命長(zhǎng)，通過(guò)化學(xué)反應(yīng)法去除氣態(tài)污染物，氣態(tài)污染物與濾料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，有效杜絕空氣環(huán)境的二次污染，永久去除氣態(tài)污染物。

化學(xué)過(guò)濾器可以有效控制AMC，億天凈化一直以提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)著稱(chēng)，多種類(lèi)型的化學(xué)過(guò)濾器通過(guò)合理的配置能達(dá)到去除污染物的最佳效果，保護(hù)敏感的電子半導(dǎo)體制程不受AMC污染物的影響，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量，提升產(chǎn)品良率。