液體中粒子的污染對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有著顯著的影響，此外，在人們的消費(fèi)生活中懸浮于液體的粒子特性對(duì)人類也有影響，所以在各個(gè)領(lǐng)域?qū)τ谝后w中粒子的控制也變得尤為重要。

液體中粒子的污染對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有著顯著的影響，此外，在人們的消費(fèi)生活中懸浮于液體的粒子特性對(duì)人類也有影響，所以在各個(gè)領(lǐng)域?qū)τ谝后w中粒子的控制也變得尤為重要。
 RION/日本理音液體粒子計(jì)數(shù)器 ，可檢測(cè)從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子，如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學(xué)劑（比如堿，有機(jī)溶劑和氫氟酸）。另外，也可檢測(cè)化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液，測(cè)試方法包括在線和離線測(cè)試。

在半導(dǎo)體、硬盤驅(qū)動(dòng)器和平板顯示器的生產(chǎn)過程中純水和化學(xué)液被大量使用。為實(shí)現(xiàn)電子設(shè)備的微型化及大規(guī)模集成電路質(zhì)量與產(chǎn)量上的改進(jìn)，對(duì)于液體中粒子的控制變得尤為必要。
在半導(dǎo)體生產(chǎn)線和場(chǎng)所內(nèi)粒徑要求被降到小于0.1μm，然而在硬盤驅(qū)動(dòng)器生產(chǎn)中對(duì)于磁頭清洗的粒徑要求為0.01μm。由于在平板顯示器生產(chǎn)中對(duì)大屏幕和高質(zhì)量電視機(jī)和監(jiān)視器的要求，在1到2平方米的玻璃基板上是不允許出現(xiàn)點(diǎn)缺陷的。所以為了在微細(xì)加工技術(shù)和高性能電子設(shè)備的生產(chǎn)中確保改良效果，對(duì)于周邊粒子的控制是很重要的。液體粒子計(jì)數(shù)器扮演了監(jiān)測(cè)型定性設(shè)備的重要角色。
使用液體粒子計(jì)數(shù)器能有效實(shí)施粒子檢測(cè)，闡明各種要素及吞吐量和產(chǎn)量等等之間的關(guān)系，還能有效解決問題區(qū)域。把粒子計(jì)數(shù)器直接連接在清洗槽的供應(yīng)線及實(shí)施不停監(jiān)測(cè)的再循環(huán)線上能確定出粒子的波動(dòng)，還能科學(xué)的改進(jìn)生產(chǎn)線。
KS-42A/AF 

光學(xué)系統(tǒng): 散射光學(xué)系統(tǒng) 
鐳射光源：半導(dǎo)體鐳射二極管，強(qiáng)度:200mW 波長:830nm
鐳射光源等級(jí):Class 1, IEC 60825-1 (2001) 
接收器:光檢知器 
流速:10ml / min 
偵測(cè)粒徑：0.1um~0.5um(可選10ch)(可改裝至1.0um) 
校正方式:使用乳膠聚苯乙烯標(biāo)準(zhǔn)粒子 (PSL) particles 
最高濃度:1,200pcs/ml(誤差±5%) 
可承受壓力:300kPa 
漏液警報(bào):連接 Relay 
尺寸:125(H)*240(W)*251(D) mm (不包含外部連接之配件) 
重量:約 4kg
KS-42B/BF

光學(xué)系統(tǒng): 散射光學(xué)系統(tǒng) 
鐳射光源：半導(dǎo)體鐳射二極管，強(qiáng)度：40mW 波長:780nm
鐳射光源等級(jí):Class 1, IEC 60825-1 (2001) 
接收器:光檢知器 
流速:10ml / min 
偵測(cè)粒徑：0.2um~2.0um(可選10ch) 
校正方式:使用乳膠聚苯乙烯標(biāo)準(zhǔn)粒子 (PSL) particles 
最高濃度:1,200pcs/ml(誤差±5%) 
可承受壓力:300kPa 
漏液警報(bào):連接 Relay 尺寸:125(H)*240(W)*151(D) mm (不包含外部連接之配件)
 重量:約3.2kg
KS-42C

光學(xué)系統(tǒng): 散射光學(xué)系統(tǒng)
鐳射光源：半導(dǎo)體鐳射二極管，強(qiáng)度:5mW 波長:780nm
鐳射光源等級(jí):Class 1, IEC 60825-1 (2001) 
接收器:光檢知器
流速:10ml / min 
偵測(cè)粒徑：0.5um~20um(可選10ch) 
校正方式:使用乳膠聚苯乙烯標(biāo)準(zhǔn)粒子 (PSL) particles 
最高濃度:1,200pcs/ml(誤差±5%)
可承受壓力:300kPa 
漏液警報(bào):連接 Relay 尺寸:125(H)*240(W)*151(D) mm (不包含外部連接之配件) 
重量:約 3kg
KS-19F

光學(xué)系統(tǒng)：散射光學(xué)系統(tǒng) 
鐳射光源：固態(tài)鐳射，強(qiáng)度:800mW 波長:532nm
光源等級(jí)：Class 1, IEC 60825-1 (2001)
接收器：多通道光檢知器 
流速：10ml / min
偵測(cè)粒徑：0.03um~0.13um(可選10ch) 
校正方式：使用乳膠聚苯乙烯標(biāo)準(zhǔn)粒子 (PSL) particles
建議濃度：40,000pcs/ml(誤差±10%);
可承受壓力：300kPa
漏液警報(bào)：連接 Relay
尺寸：170(H)*487(W)*310(D) mm (不包含外部連接之配件) 
重量：約13.5 kg
KS-20F

光學(xué)系統(tǒng)：散射光學(xué)系統(tǒng)
鐳射光源：固態(tài)鐳射，強(qiáng)度:1.5W 波長:532nm
光源等級(jí):Class 1, IEC 60825-1 (2001)
接收器：多通道光檢知器
流速：10ml / min
偵測(cè)粒徑：0.02um~0.08um(可選7ch) 
建議濃度：50,000pcs/ml(誤差10%以內(nèi))
可承受壓力：300kPa
漏液警報(bào)：連接 Relay
尺寸：230(H)*550(W)*330(D) mm (不包含外部連接之配件) 
重量：約 17Kg